Kimyasal mekanik düzlemselleştirme olarak da bilinen CMP, yarı iletken üretiminde önemli bir süreçtir. PEEK malzemesi korozyona karşı dayanıklılık özelliğine sahiptir ve kimyasal çözeltilerle temas ettiğinde PEEK'in sızması çok azdır. Bu, CMP süreci için çok önemlidir, çünkü düşük sızıntı, yabancı maddelerin cilalama çözeltisine girmesini veya levha yüzeyine adsorbe edilmesini önleyebilir, böylece levhanın kirlenmesini önleyebilir ve yarı iletken üretimi için yüksek saflık gerekliliklerini garanti altına alabilir.
PEEK, aşınma nedeniyle oluşan daha az parçacık sayesinde mükemmel sürtünme direncine sahiptir ve çipi kirletmez.
Termal genleşme katsayısının eşleşmesi: PEEK malzemesinin termal genleşme katsayısı, silikon gibi yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılan malzemelerle daha uyumludur. CMP teknolojisinin sıcaklık değişimi süreci sırasında, PEEK malzemesinin ve levhalar gibi bileşenlerin termal genleşmesi ve büzülmesi benzerdir; bu, termal gerilim uyumsuzluğundan kaynaklanan bileşen hasarını veya levha deformasyonunu önleyebilir ve sürecin güvenilirliğini ve tekrarlanabilirliğini sağlar.
Karbon fiberle güçlendirilmiş anti-statik PEEK, çipleri elektrostatik deşarj hasarından koruyabilir, ayrıca yarı iletken çipleri etkili bir şekilde koruyabilen mükemmel mekanik dayanıma sahiptir.
PEEK, aşınma nedeniyle oluşan daha az parçacık sayesinde mükemmel sürtünme direncine sahiptir ve çipi kirletmez.
Termal genleşme katsayısının eşleşmesi: PEEK malzemesinin termal genleşme katsayısı, silikon gibi yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılan malzemelerle daha uyumludur. CMP teknolojisinin sıcaklık değişimi süreci sırasında, PEEK malzemesinin ve levhalar gibi bileşenlerin termal genleşmesi ve büzülmesi benzerdir; bu, termal gerilim uyumsuzluğundan kaynaklanan bileşen hasarını veya levha deformasyonunu önleyebilir ve sürecin güvenilirliğini ve tekrarlanabilirliğini sağlar.
Karbon fiberle güçlendirilmiş anti-statik PEEK, çipleri elektrostatik deşarj hasarından koruyabilir, ayrıca yarı iletken çipleri etkili bir şekilde koruyabilen mükemmel mekanik dayanıma sahiptir.
